| Title: | К теории метода эллипсометрии |
| Authors: | Семененко, А.И. Миронов, Ф.С. |
| Issue Date: | 1977 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Семененко, А.И. К теории метода эллипсометрии / А.И. Семененко, Ф.С. Миронов // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1977. – Т. 42, вып. 3. – С. 528-532. |
| Abstract: | Построена точная теория измерительных зон эллипсометра, учитывающая явления многократного отражения светового пучка от границ пластины компенсатора. Получены формулы, позволяющие определять параметры компенсатора f и δ эллипсометрическим путем. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/36545 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Семененко_К_теории.pdf | 8.04 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.