| Title: | Спектральная эллипсометрия полупроводниковых слоев на одноосных подложках |
| Authors: | Стаськов, Н.И. Ивашкевич, И.В. |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины |
| Citation: | Стаськов, Н.И. Спектральная эллипсометрия полупроводниковых слоев на одноосных подложках / Н.И. Стаськов, И.В. Ивашкевич // Проблемы взаимодействия излучения с веществом : III Международная научная конференция, посвященная 85-летию со дня рождения Б. В. Бокутя (Гомель, 9–11 ноября 2011 г.). В 2 ч. Ч. 1 / редкол.: А.В. Рогачев (гл. ред.) [и др.] ; М-во образования Республики Беларусь и др. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2011. – С. 79-84. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/38291 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Стаськов_Спектральная.pdf | 403.31 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.