| Название: | Спектральная эллипсометрия полупроводниковых слоев на одноосных подложках |
| Авторы: | Стаськов, Н.И. Ивашкевич, И.В. |
| Дата публикации: | 2011 |
| Издательство: | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины |
| Библиографическое описание: | Стаськов, Н.И. Спектральная эллипсометрия полупроводниковых слоев на одноосных подложках / Н.И. Стаськов, И.В. Ивашкевич // Проблемы взаимодействия излучения с веществом : III Международная научная конференция, посвященная 85-летию со дня рождения Б. В. Бокутя (Гомель, 9–11 ноября 2011 г.). В 2 ч. Ч. 1 / редкол.: А.В. Рогачев (гл. ред.) [и др.] ; М-во образования Республики Беларусь и др. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2011. – С. 79-84. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/38291 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Стаськов_Спектральная.pdf | 403.31 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.