Эллипсометрические измерения на шероховатых поверхностях германия и кремния

Abstract

Экспериментально показано,что наличие шероховатости на поверхностях Ge и Si приводит к уменьшению поляризационных угловψ и∆ и, следовательно, к изменению эффективных оптических постоянных. Сделана попытка объяснить полученные результаты с привлечением модели отражающей системы с переходным слоем.