| Title: | Определение параметров поглощающих пленок с помощью метода эллипсометрии |
| Authors: | Дагман, Э.Е. Панькин, В.Г. Свиташев, К.К. Семененко, Л.В. Семененко, А.И. Шварц, Н.Л. |
| Issue Date: | 1979 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Определение параметров поглощающих пленок с помощью метода эллипсометрии / Э.Е. Дагман [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1979. – Т. 46, вып. 3. – С. 559-565. |
| Abstract: | Предложена методика определения оптических постоянных и толщины поглощающих пленок, основанная на применении метода максимального правдоподобия. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/46612 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Дагман_Определение.pdf | 11.67 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.