Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Биленко, Д.И. | - |
| dc.contributor.author | Дворкин, Б.А. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-06-06T07:23:37Z | - |
| dc.date.available | 2023-06-06T07:23:37Z | - |
| dc.date.issued | 1983 | - |
| dc.identifier.citation | Биленко, Д.И. Эллипсометрическое определение параметров прозрачных слоев в структурах слой - подложка с нерезкой переходной областью / Д.И. Биленко, Б.А. Дворкин // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1983. – Т. 55, вып. 3. – С. 532 - 536. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/61299 | - |
| dc.description.abstract | Исследована возможность эллипсометрического контроля неоднородных по показателю преломления прозрачных слоев и определена область применения упрощенной модели слой - подложка с резкой границей раздела. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Наука | ru |
| dc.title | Эллипсометрическое определение параметров прозрачных слоев в структурах слой - подложка с нерезкой переходной областью | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 535.345.1 : 539.23 | - |
| dc.root | Оптика и спектроскопия | ru |
| dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
| dc.edition | 3 | ru |
| dc.volume | 55 | ru |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Биленко_Эллипсометрическое.pdf | 29.96 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.