| Название: | Эллипсометрическое определение параметров прозрачных слоев в структурах слой - подложка с нерезкой переходной областью |
| Авторы: | Биленко, Д.И. Дворкин, Б.А. |
| Дата публикации: | 1983 |
| Издательство: | Наука |
| Библиографическое описание: | Биленко, Д.И. Эллипсометрическое определение параметров прозрачных слоев в структурах слой - подложка с нерезкой переходной областью / Д.И. Биленко, Б.А. Дворкин // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1983. – Т. 55, вып. 3. – С. 532 - 536. |
| Краткий осмотр (реферат): | Исследована возможность эллипсометрического контроля неоднородных по показателю преломления прозрачных слоев и определена область применения упрощенной модели слой - подложка с резкой границей раздела. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/61299 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Биленко_Эллипсометрическое.pdf | 29.96 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.