Title: | Эллипсометрическое определение параметров прозрачных слоев в структурах слой - подложка с нерезкой переходной областью |
Authors: | Биленко, Д.И. Дворкин, Б.А. |
Issue Date: | 1983 |
Publisher: | Наука |
Citation: | Биленко, Д.И. Эллипсометрическое определение параметров прозрачных слоев в структурах слой - подложка с нерезкой переходной областью / Д.И. Биленко, Б.А. Дворкин // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1983. – Т. 55, вып. 3. – С. 532 - 536. |
Abstract: | Исследована возможность эллипсометрического контроля неоднородных по показателю преломления прозрачных слоев и определена область применения упрощенной модели слой - подложка с резкой границей раздела. |
URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/61299 |
Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Биленко_Эллипсометрическое.pdf | 29.96 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.