| Title: | Эллипсометрическое определение параметров прозрачных слоев в структурах слой - подложка с нерезкой переходной областью |
| Authors: | Биленко, Д.И. Дворкин, Б.А. |
| Issue Date: | 1983 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Биленко, Д.И. Эллипсометрическое определение параметров прозрачных слоев в структурах слой - подложка с нерезкой переходной областью / Д.И. Биленко, Б.А. Дворкин // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1983. – Т. 55, вып. 3. – С. 532 - 536. |
| Abstract: | Исследована возможность эллипсометрического контроля неоднородных по показателю преломления прозрачных слоев и определена область применения упрощенной модели слой - подложка с резкой границей раздела. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/61299 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Биленко_Эллипсометрическое.pdf | 29.96 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.