Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, В.В. | - |
| dc.contributor.author | Шершнев, Е.Б. | - |
| dc.contributor.author | Никитюк, Ю.В. | - |
| dc.contributor.author | Соколов, С.И. | - |
| dc.date.accessioned | 2024-03-20T07:15:14Z | - |
| dc.date.available | 2024-03-20T07:15:14Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Лазерные технологии обработки кварца в производстве изделий микроэлектроники / В.В. Емельянов, Е.Б. Шершнев, Ю.В. Никитюк, С.И. Соколов // Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники : монография / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : Беларуская навука, 2020. – С. 175-220. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.gsu.by/handle123456789/66012 | - |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Беларуская навука | ru |
| dc.title | Лазерные технологии обработки кварца в производстве изделий микроэлектроники | ru |
| dc.type | Book chapter | ru |
| dc.root | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники : монография | ru |
| dc.placeOfPublication | Минск | ru |
| Располагается в коллекциях: | Статьи | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Емельянов_Лазерные.pdf | 590.91 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть | |
| Глава_6.pdf | 4.96 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.