Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, В.В. | - |
| dc.contributor.author | Шершнев, Е.Б. | - |
| dc.contributor.author | Никитюк, Ю.В. | - |
| dc.contributor.author | Соколов, С.И. | - |
| dc.date.accessioned | 2024-03-20T07:15:14Z | - |
| dc.date.available | 2024-03-20T07:15:14Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Лазерные технологии обработки кварца в производстве изделий микроэлектроники / В.В. Емельянов, Е.Б. Шершнев, Ю.В. Никитюк, С.И. Соколов // Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники : монография / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : Беларуская навука, 2020. – С. 175-220. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.gsu.by/handle123456789/66012 | - |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Беларуская навука | ru |
| dc.title | Лазерные технологии обработки кварца в производстве изделий микроэлектроники | ru |
| dc.type | Book chapter | ru |
| dc.root | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники : монография | ru |
| dc.placeOfPublication | Минск | ru |
| Appears in Collections: | Статьи | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Емельянов_Лазерные.pdf | 590.91 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.