| Название: | Лазерные технологии обработки кварца в производстве изделий микроэлектроники |
| Авторы: | Емельянов, В.В. Шершнев, Е.Б. Никитюк, Ю.В. Соколов, С.И. |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издательство: | Беларуская навука |
| Библиографическое описание: | Лазерные технологии обработки кварца в производстве изделий микроэлектроники / В.В. Емельянов, Е.Б. Шершнев, Ю.В. Никитюк, С.И. Соколов // Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники : монография / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : Беларуская навука, 2020. – С. 175-220. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.gsu.by/handle123456789/66012 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Емельянов_Лазерные.pdf | 590.91 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть | |
| Глава_6.pdf | 4.96 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.