| Название: | Установка для получения алмазоподобных пленок |
| Авторы: | Старовойтов, А.С. Зайцев, В.А. Шершнев, Е.Б. Шалупаев, С.В. Федосенко, Н.Н. Никитюк, Ю.В. Морозов, В.П. |
| Дата публикации: | 2001 |
| Библиографическое описание: | Патент 323 Республика Беларусь, С 23С 14/28. Установка для получения алмазоподобных пленок [Текст] / А.С. Старовойтов, В.А. Зайцев, Е.Б. Шершнев, С.В. Шалупаев, Н.Н. Федосенко, Ю.В. Никитюк, В.П. Морозов ; заявитель и патентообладатель Республиканское алмазообрабатывающее унитарное предприятие «Гомельское ПО «Кристалл». - № u 20000198 ; заявл. 19.12.2000 ; опубл.: 30.09.2001. – 3 с. |
| Краткий осмотр (реферат): | Установка для получения алмазоподобных пленок, содержащая рабочий лазер, формирующий объектив, вакуумную камеру и расположенные внутри нее держатели с мишенью и подложкой, на которую осаждается испаряемый материал мишени, отличающаяся тем, что дополнительно содержит вспомогательный лазер с длиной волны видимого диапазона, ионно-лучевой источник и устройство сканирования, причем вспомогательный и рабочий лазеры последовательно расположены на одной оптической оси установки. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.gsu.by/handle123456789/67795 |
| Располагается в коллекциях: | Патенты |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| u323-bypatents.com.pdf | 117.62 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.