| Title: | Установка для получения алмазоподобных пленок |
| Authors: | Шалупаев, С.В. Морозов, В.П. Шершнев, А.Е. |
| Issue Date: | 2005 |
| Citation: | Патент 2326 Республика Беларусь, С 23С 14/28. Установка для получения алмазоподобных пленок [Текст] / С.В. Шалупаев, В.П. Морозов, А.Е. Шершнев ; заявитель и патентообладатель Учреждение образования «Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины». – № u 20050224 ; заявл. 18.04.2005 ; опубл.: 30.12.2005. – 4 с. |
| Abstract: | Установка для получения алмазоподобных пленок, содержащая лазер, формирующий объектив, вакуумную камеру и расположенные внутри нее ионно-лучевой источник, держатель мишени и держатель подложки, на которую осаждается испаряемый материал мишени, отличающаяся тем, что ионно-лучевой источник и держатель мишени последовательно установлены на оптической оси установки по одну сторону от держателя подложки , при этом в ионно-лучевом источнике выполнен сквозной канал со стороны лазера. |
| URI: | https://elib.gsu.by/handle123456789/67810 |
| Appears in Collections: | Патенты |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| u2326-bypatents.com.pdf | 114.48 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.