| Название: | Установка для получения алмазоподобных пленок |
| Авторы: | Шалупаев, С.В. Морозов, В.П. Шершнев, А.Е. |
| Дата публикации: | 2005 |
| Библиографическое описание: | Патент 2326 Республика Беларусь, С 23С 14/28. Установка для получения алмазоподобных пленок [Текст] / С.В. Шалупаев, В.П. Морозов, А.Е. Шершнев ; заявитель и патентообладатель Учреждение образования «Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины». – № u 20050224 ; заявл. 18.04.2005 ; опубл.: 30.12.2005. – 4 с. |
| Краткий осмотр (реферат): | Установка для получения алмазоподобных пленок, содержащая лазер, формирующий объектив, вакуумную камеру и расположенные внутри нее ионно-лучевой источник, держатель мишени и держатель подложки, на которую осаждается испаряемый материал мишени, отличающаяся тем, что ионно-лучевой источник и держатель мишени последовательно установлены на оптической оси установки по одну сторону от держателя подложки , при этом в ионно-лучевом источнике выполнен сквозной канал со стороны лазера. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.gsu.by/handle123456789/67810 |
| Располагается в коллекциях: | Патенты |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| u2326-bypatents.com.pdf | 114.48 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.