| Title: | Влияние каналирования на распределение электрически активных атомов бора и фосфора, внедренных в монокристаллы кремния |
| Authors: | Гусев, В.М. Бушаров, Н.П. Демаков, К.Д. Козлов, Ю.Г. |
| Issue Date: | 1971 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Влияние каналирования на распределение электрически активных атомов бора и фосфора, внедренных в монокристаллы кремния / В.М. Гусев, Н.П. Бушаров, К.Д. Демаков, Ю.Г. Козлов // Доклады Академии наук СССР.- Москва : Наука, 1971. – Т. 197, №2. – С. 319-322. |
| URI: | https://elib.gsu.by/handle123456789/72289 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Гусев_Влияние.pdf | 10.42 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.