| Название: | Low-k sol-gel coating for surface planarization at integrated circuit production |
| Авторы: | Vaskevich, V.V. Kovalenko, D.L. Gaishun, V.E. Khakhomov, S.A. Demidov, A. Mhin, S. Васькевич, В.В. Коваленко, Д.Л. Гайшун, В.Е. Хахомов, С.А. |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издательство: | Kaunas University of Technology |
| Библиографическое описание: | Low-k sol-gel coating for surface planarization at integrated circuit production / V. Vaskevich [et al.] // Inter-Academia 2018 : the 17th International Conference on Global Research and Education (Kaunas, Lithuania, 24 – 27 September, 2018) ; Kaunas University of Technology. - Kaunas, 2018 - P. 54. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/33112 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Vaskevich_Low-k_sol-gel.pdf | 226.65 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.