| Title: | Спектральная эллипсометрия клиновидных полупроводниковых пленок на кремниевых подложках |
| Authors: | Ивашкевич, И.В. Филиппов, В.В. |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины |
| Citation: | Ивашкевич, И.В. Спектральная эллипсометрия клиновидных полупроводниковых пленок на кремниевых подложках / И.В. Ивашкевич, В.В. Филиппов // Проблемы взаимодействия излучения с веществом [Электронный ресурс] : V Международная научная конференция, посвященная академику Б.В. Бокутю (Гомель, 14–16 ноября 2018 г.) : материалы : в 2 ч. Ч. 2 / редкол.: Д.Л. Коваленко [и др.] ; М-во образования Республики Беларусь и др. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2018. – С. 104-108. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37341 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| И.В. Ивашкевич1, В.В. Филиппов2.pdf | 260.95 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.