| Title: | Лазерные технологии обработки кварца в производстве изделий микроэлектроники |
| Authors: | Емельянов, В.В. Шершнев, Е.Б. Никитюк, Ю.В. Соколов, С.И. |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Беларуская навука |
| Citation: | Лазерные технологии обработки кварца в производстве изделий микроэлектроники / В.В. Емельянов, Е.Б. Шершнев, Ю.В. Никитюк, С.И. Соколов // Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники : монография / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : Беларуская навука, 2020. – С. 175-220. |
| URI: | https://elib.gsu.by/handle123456789/66012 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Емельянов_Лазерные.pdf | 590.91 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.